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Resultados da busca para ◼ Sinônimos Inglês Electron Beam Lithography;
◼ Sigla em inglês EBL (Electron Beam Lithography)
◼ Sigla em português EBL
Significado
Técnica litográfica baseada em um feixe de elétrons focado. Não há utilização de máscara. A gravação é feita diretamente por meio de varredura com o feixe de elétrons. A resolução obtida é inferior a 100 nm. A litografia por feixe de elétrons (EBL) é frequentemente usada para fabricar máscaras de alta resolução para fotolitografia e litografia por raios-X.
Meaning
