◼ Sinônimos Inglês e-beam lithography;
◼ Sigla em inglês EBL (Electron Beam Lithography)
◼ Sigla em português EBL
Técnica litográfica baseada em um feixe de elétrons focado. Não há utilização de máscara. A gravação é feita diretamente por meio de varredura com o feixe de elétrons. A resolução obtida é inferior a 100 nm. A litografia por feixe de elétrons (EBL) é frequentemente usada para fabricar máscaras de alta resolução para fotolitografia e litografia por raios-X.
An integrated circuit fabrication process in which fine beams of electrons are used to draw extremely high-resolution patterns directly into the resist without the use of a mask. (books.google.com.br - A...)
Exemplos de tradução