◼ Sinônimos Inglês e-beam lithography;
◼ Sigla em inglês EBL (Electron Beam Lithography)
◼ Sigla em português EBL
Significado
Técnica litográfica baseada em um feixe de elétrons focado. Não há utilização de máscara. A gravação é feita diretamente por meio de varredura com o feixe de elétrons. A resolução obtida é inferior a 100 nm. A litografia por feixe de elétrons (EBL) é frequentemente usada para fabricar máscaras de alta resolução para fotolitografia e litografia por raios-X.
Meaning
An integrated circuit fabrication process in which fine beams of electrons are used to draw extremely high-resolution patterns directly into the resist without the use of a mask. (books.google.com.br - A...)
Exemplos de tradução
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...This work presents the development for obtaining silicon nanowires (SiNW) for applications in 3D MOS devices using Focused Ion Beam with gallium ions (GaFIB) and Electron Beam Lithography (EBL) techniques. The complete fabrication process was developed for obtaining junctionless nanowire-based transistors, chosen due to the simplicity of processing and to the absence of short channel and punchthrough effects. Silicon on I...
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